Измерение мелкоструктурных деталей проводится щупом с очень маленьким радиусом щупового наконечника, который соизмерим с радиусом сочленения поверхностей.
Для контроля деталей такого типа в ООО «Лапик» применяется щуп-игла (радиус щупового наконечника 0,02 мм). При таких маленьких размерах невозможно добиться идеальной сферичности наконечника.
Точность измерения в данном случае достигается следующим способом. Производится калибровка щупа-иглы, в результате которой определяются зоны, наиболее удовлетворяющие условию прецизионной сферичности. Определение параметров щупового наконечника теперь позволяет провести измерение детали по заданной программе с большой точностью (до 1 мкм). Обязательным условием при проведении измерения является необходимость касания поверхности детали непосредственно откалиброванными зонами (на схеме обозначены красным). Так как зоны, полученные при калибровке, могут располагаться произвольно на поверхности щупового наконечника, то и угол наклона при соприкосновении щупа с деталью будет произвольным. Это достижимо за счет плавно-управляемого наклона каретки шестиосевой КИМ. Измеряя деталь, машина в момент касания определяет координаты центра щупового наконечника в пространстве и описывает эквидистанту. Откорректировав это значение на величину радиуса, получим итоговую линию поверхности.
